真空雰囲気下での加熱処理を目的とし、耐熱圧力容器內(nèi)にシーズヒータを3ゾーン構(gòu)成で配置した內(nèi)熱式タイプです。主な用途としてポリイミドのハードベーク、プラスチックパッケージの脫脂、ウェーハの乾燥/ベークなどがあります。またマッフル外周のエアジャケットにフレッシュエアーを?qū)?、降溫時間の短縮が可能です。
タクトタイムを短縮した高能率タイプ
高精度な3ゾーン個別制御
冷卻ブロアを標(biāo)準(zhǔn)裝備
ステンレスマッフルを裝備
ポリイミドのハードベーク、プラスチックパッケージの脫脂、ウェーハの乾燥?ベーク 
真空度に応じたポンプ選択が可能
| | SHB-8810-5VC |
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| *高使用溫度(注1) | 500℃ |
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| 常用使用溫度範(fàn)囲(注1) | 250～480℃ |
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| 溫度制御 | プログラマ |
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| 指示精度 | ±0.1%FS±1digit |
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| 記憶容量 | 19パターン (30セグメント/1パターン) |
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| 調(diào)節(jié)動作 | オートチューニング付PID制御 |
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| ヒータ出力 | 5.0kW(at 200V) |
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| 熱電対 | K |
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| 外形寸法(mm) | 1000(W)×1570(H)×1300(D) |
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| マッフル內(nèi)有効寸法(mm) | 200(W)×200(H)×250(D) |
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| 爐內(nèi)耐荷重 [等分布荷重] | 20kg |
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| ブレーカー容量 | AC200V 40A 3相 50/60Hz |
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| 過熱防止計 | 標(biāo)準(zhǔn)裝備 |
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| 電動機(jī)過負(fù)荷保護(hù)器 | 標(biāo)準(zhǔn)裝備 |
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| 冷卻水?dāng)嗨畻手?/span> | 標(biāo)準(zhǔn)裝備 |
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| ガス圧力低下検知器 | 標(biāo)準(zhǔn)裝備 |
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(注1) マッフル內(nèi)制御點(diǎn)での値を示す。 |